Evanescentní vlny v nanostrukturách

prof. Ing. Jaromír Pištora, CSc.¹; doc. Dr. Ing. Michal Lesňák²

Současné technologie planárních i periodických nanostruktur umožňují realizaci nových prvků pro sensoriku, elektroniku, fotoniku a spintroniku. K jejich charakterizaci lze využít optické přístupy nabízející prostorové rozlišení v oblasti jednotek nanometrů. Článek shrnuje poznání v oblasti odezvy volných, vedených a evanescentních elektromagnetických vln s definovanou polarizací v nanostrukturách, které mohou být současně anizotropní i absorbující. Zvláštní důraz je kladen na anizotropie vyvolané přítomností spontánního magnetického uspořádání. Z optického hlediska jsou nanostruktury pokládány za stranově, tedy na povrchu dvoudimensionálně, strukturované multivrstevnaté anizotropní difrakční mřížky. Cílem práce je prezentace přehledu poznatků důležitých pro metrologii anizotropních nanostruktur na základě teoretického i experimentálního srovnání metod optické skaterometrie (zde odpovídající reflexní elipsometrii s proměnnou vlnovou délkou nebo proměnným úhlem dopadu), spektroskopie porušeného úplného odrazu (ATR – Attenuated Total Reflection), reflexní elipsometrie při úplném vnitřním odrazu (TIRE – Total Internal Reflection Ellipsometry) a rezonance plazmonových vln (SPR – Surface Plasmon Resonance) klasická i zahrnující působení magnetizace (MO SPR – Magneto-optical Surface Plasmon Resonance).

Klíčová slova: optika; nanostruktiury; evanescentní vlna; optická diagnostika

VŠB – Technical University of Ostrava, Nanotechnology Centre, Regional Materials Science and Technology Center, 17. listopadu 15/2171, 708 33 Ostrava-Poruba, Czech Republic
VŠB – Technical University of Ostrava, Institute of Physics, Regional Materials Science and Technology Center, 17. listopadu 15/2171, 708 33 Ostrava-Poruba, Czech Republic